Atomic layer deposition — Principles, characteristics, and nanotechnology applications [electronic resource] / Tommi Kääriäinen...[et al.]
ผู้แต่งร่วม: Cameron, David
| Kaariainen, Marja-Leena | Kaariainen, Tommi | Sherman, Arthur
Language: English ข้อมูลการพิมพ์: Beverly, MA : John Wiley & Sons, 2013 ครั้งที่พิมพ์: 2nd editionรายละเอียดตัวเล่ม: 272 p.ISBN: 9781118062777หัวเรื่อง: Atomic layer deposition | Microelectronics | Nanotechnologyสารสนเทศออนไลน์: Click here to access cover General note: e-book : Books24x7
ไม่มีรายการทางกายภาพสำหรับระเบียนนี้
There are no comments on this title.